目前真空技術所涉及的壓力范圍為105Pa~10-13Pa，這樣寬的壓力范圍是任何一種獲得真空的設備—真空泵都不能單獨實現(xiàn)的，因而需要用不同結構的真空泵來實現(xiàn)。按工作原理分述幾類真空泵。
利用轉動或滑動等機械運動獲得真空的泵叫機械真空泵，其可分為以下幾種:
(1)往復真空泵。它是借泵腔內活塞往復運動，將氣體壓縮并排出的容變真空泵。極限真空度:單級約達103Pa;雙級約達10Pa。抽氣速率為45m3/h~20000m3/h.
(2)水環(huán)真空泵。它是利用水環(huán)旋轉變容的真空泵。極限真空度:單級約達103Pa;雙級約達102Pa。抽氣速率0.25m3/h~500m3/h。
(3)油封旋轉式真空泵。它是用油保持密封，靠旋轉的偏心凸輪在缸內旋轉而抽氣的泵，包括定片真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵和余擺線真空泵。在氣相沉積技術中，旋片真空泵用得很多，極限真空度約達10-1Pa(單級)和10-2Pa(雙級)。抽氣速率為1L/s~500L/S。另外，也有采用滑閥真空泵，極限真空度約達l0Pa(單級)和10-1Pa(雙級)。抽氣速率1L/S~600L/s.
(4)羅茨真空泵。它是泵內裝有兩個反向同步旋轉的雙葉形或多葉形轉子，轉子間以及轉子與泵殼內壁都保持一定間隙的旋轉變容真空泵。該泵在102Pa~1Pa之間有較大的抽速，完全可以彌補旋轉機械泵和油擴散泵在此壓力范圍內抽速不足的缺陷，在真空系統(tǒng)中起增壓作用，故又稱機械增壓泵。其極限真空度約達10-2Pa。抽氣速率為15L/s~40000L/s.羅茨泵不能單獨使用，必須和前級泵串聯(lián)使用。
(5)渦輪分子泵。它是一種機械高真空泵，裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子。轉子在定子對應圓盤間旋轉，線速度轉動的數(shù)量級與氣體分子相同，泵正常工作適于在分子流狀態(tài)下。極限真空度約達10-8Pa或更高，抽氣速率一般在5000L/s以下。
